難波 愼一Shinichi Namba
Last Updated :2024/09/10
- 所属・職名
- 大学院先進理工系科学研究科 教授
- メールアドレス
- nambahiroshima-u.ac.jp
基本情報
学位
- 博士(工学) (名古屋大学)
- 修士(工学) (名古屋大学)
研究分野
研究キーワード
所属学会
教育活動
授業担当
- 2024年, 学部専門, 4ターム, 光計測
- 2024年, 学部専門, 3ターム, 交通機械
- 2024年, 学部専門, 通年, 卒業論文
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 1ターム, 機械工学特別演習A
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 2ターム, 機械工学特別演習A
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 3ターム, 機械工学特別演習B
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 4ターム, 機械工学特別演習B
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 年度, 機械工学特別研究
- 2024年, 修士課程・博士課程前期, 4ターム, Advanced Plasma Engineering
- 2024年, 博士課程・博士課程後期, 年度, 機械工学特別研究
- 2024年, 教養教育, 1ターム, 新入生のための物理学入門[1工特]
- 2024年, 教養教育, 1ターム, 教養ゼミ
- 2024年, 教養教育, 1ターム, 教養ゼミ
- 2024年, 学部専門, 2ターム, 化学物理
- 2024年, 学部専門, 4ターム, 量子物理
- 2024年, 学部専門, セメスター(後期), 機械創成実習
- 2024年, 学部専門, 2ターム, プラズマ工学
研究活動
学術論文(★は代表的な論文)
- Production of highly-charged ions by nitrogen gas target irradiated with ultrashort high-intensity pulse laser, Int. J. Appl. Electromag. Mechanics, 14巻, pp. 277-282, 20021201
- Demonstration of a Transient High Gain Soft X-Ray Laser for Neon-Like Argon, Jpn. J. Appl. Phys., 41巻, pp. L133-135, 20020501
- Gain saturation of nickel-like silver and tin x-ray lasers by use of a table top pumping laser system, Phys. Rev. A, 66巻, pp. 033815, 20020401
- 超短パルスレーザー・クラスター相互作用による非平衡プラズマ中での荷電交換再結合反応, 日本原子力研究所 JAERI conf, 008巻, pp. 190-193, 20030701
- 超短パルスレーザー・クラスター相互作用による非平衡プラズマ中での荷電交換再結合反応, 日本原子力研究所 JAERI conf, 009巻, pp. 115-118, 20040401
- Development of supersonic metastable helium pulsed beam source for plasma diagnostics, Jpn. J. Appl. Phys., 45巻, 10B号, 20061001
- Spectroscopic study of debris mitigation with minimum-mass Sn laser-plasma for extreme ultraviolet lithography, Appl. Phys. Lett=, 88巻, pp. 151503, 20060401
- Spectroscopic study of ablation and recombination processes in a laser-produced ZnO plasma, J. Appl. Phys., 99巻, pp. 073302, 20060401
- ★, Efficient Electron Heating in Nitrogen Clusters Irradiated with Intense Femtosecond Laser Pulse, Phys. Rev. A, 73巻, pp. 013205, 20060101
- A short-pulsed compact supersonic helium beam source for plasma diagnostics, Plasma Device and Operations, 14巻, pp. 81, 20060101
- Fast numerical calculation for a set of nonlinear rate equations: application to rapid ionization phase in plasma, Jpn. J. Appl. Phys., 44巻, pp. 8118, 20051001
- Effect of discharge current and voltage on the high density of metastable helium atoms, Chinese Physics, 12巻, 5号, pp. 495, 20030401
- High-density metastable helium atoms produced by Penning-type discharges, Plasma Sources Sci. Technol., 12巻, pp. 142, 20030401
- Demonstration of a Transient High Gain Soft X-Ray Laser for Neon-Like Argon, Jpn. J. Appl. Phys., 41巻, pp. L133, 20020401
- Spectroscopic Observation of Highly-Charged Ions Produced by Cluster Target, Proceedings of the 2nd Symposium on Advanced Photon Research, pp. 118, 20011001
- Charge exchange recombination x-ray laser in a cluster plasma produced by an ultra-short high intensity pulse laser, X-RAY LASERS 2004, pp. 481, 20040401
- Higher harmonic generation for the high coherent x-ray laser, Proceedings of SPIE, 4505巻, pp. 204, 20010401
- X-ray laser research at Advanced Photon Research Center of JAERI, Kansai, Proceedings of SPIE, 4505巻, pp. 54, 20010401
- Demonstration of Transient Collisional Excitation X-Ray Lasers in Gases, AIP Conference Proceedings, 634巻, pp. 241, 20021001
- 次世代リソグラフィー光源としての最少質量EUV放射プラズマの開発, プラズマ核融合学会, 82巻, 9号, pp. 609-626, 20061001
- 過渡的衝突励起方式によるX線レーザー開発, プラズマ・核融合学会誌, 3号, pp. 248-255, 20020301
- ★, Enhancement of Double Auger Decay Probability in Xenon Clusters Irradiated with a Soft X-ray Laser pulse, Physical Review Letters, 99巻, pp. 043004, 20070731
- Photoionized Xeon Cluster Plasmas Generated by a Soft X-ray Laser Pulse, Journal of Physics: Conference series, 112巻, pp. 042057, 20080601
- Characterization of out-of-band radiation and plasma parameters in laser-produced Sn plasmas for extreme ultraviolet lithography light sources, Journal of Applied Physics, 104巻, pp. 013305, 20080714
- 軟X線レーザー照射によるXeクラスターの内殻電離過程, プラズマ核融合学会誌, 84巻, 7号, pp. 439-442, 20080701
- Absolute evaluation of out-of-band radiation from laser produced Sn plasma for extreme ultraviolet lithography application, Applied Physics Letters, 92巻, pp. 11503, 20080321
- コヒーレントX線レーザー照射によるXeクラスターの光吸収・電離過程, JAEA conference, 07巻, pp. 21-24, 20080930
- Time-of-Flight Measurements of Ion and Electron from Xenon Clusters Irradiated with a Soft X-ray Laser Pulse, X-Ray Laser 2008, 20080930
- Transition from Thermal to Recombining Plasma in a Free Expanding Arc Jet Plasma GeneratorS. Namba, K. Nakamura, K. Yashio, S. Furukawa,, K. Takiyama, K. Sato, J. Plasma and Fusion Res. Series, 8巻, pp. 1348-1352, 20090801
- Intensity and polarization of laser-induced fluorescence due to forbidden excitation of He atoms immersed in an electric field in plasmas, Phys. Rev. E, 79巻, pp. 026402, 20090401
- Spatially-resolved spectroscopic study of arcjet helium plasmas expanding through a rectangular-shaped converging-diverging nozzle, Jpn. J. Appl. Phys., 48巻, pp. 116005, 20091101
- Two-dimensional spatial temperature and density measurements in an arcjet plasma expanding through a slit nozzle, Plasma and Fusion Research, 6巻, pp. 2406054, 20110701
- ★, Emission spectroscopy of a microhollow cathode discharge plasma in helium-water gas mixtures, J. Appl. Phys., 110巻, pp. 073307, 20111001
- ★, Electron spectra of xenon clusters irradiated with a laser-driven plasma soft-x-ray laser pulse, Phys. Rev. A, 84巻, pp. 053202, 20111101
- Effect of Disalignment due to Electron Collision on Laser-Induced Fluorescence Polarization Spectroscopy for Measuring Electric Field in Plasmas, Jpn. J. Appl. Phys., 47巻, 11号, pp. 8570-8575, 20081001
- Novel atmospheric pressure plasma device releasing atomic hydrogen: reduction of microbial-contaminants and OH radicals in the air, Journal of Physics D: Appl. Phys., 40巻, pp. 501, 20070101
- Spectroscopic Observation of a Helium Plasma Cooled by a Hydrogen Gas Injection, J. Nucl. Mater., 266-269巻, pp. 1157-1160, 19990201
- Observation of OH radical reactions with atomic hydrogen in He/H2O plasmas by laser-induced fluorescence spectroscopy, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 45巻, 10B号, pp. 8260-8263, 200610
- Intensity and polarization of laser-induced fluorescence due to forbidden excitation of He atoms immersed in an electric field in plasmas, PHYSICAL REVIEW E, 79巻, 2号, 200902
- Effect of Cathode Length on Electrical Characteristics of a Microhollow Cathode Discharge in Helium, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51巻, 6号, 201206
- Pressure Dependences of Gas Temperature and Electron Density in Microhollow Cathode Discharges in He and He+H2O Gases, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 51巻, 12号, 201212
- Spectroscopic Measurement of Shock Waves in an Arcjet Plasma Expanding Through a Conical Nozzle, PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 15巻, 2号, pp. 89-92, 20130201
- Characterization of a Microhollow Cathode Discharge Plasma in Helium or Air with Water Vapor, PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 15巻, 2号, pp. 129-132, 20130201
- Parametric amplification of attosecond pulse trains at 11 nm, SCIENTIFIC REPORTS, 4巻, 20140503
- Measurements of localized potential profiles by LIF polarization spectroscopy in an inertial-electrostatic confinement discharge, JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY, 65巻, 8号, pp. 1205-1208, 20141001
- Investigation of a shock wave in an arcjet He plasma by using an electric probe and emission spectroscope, JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY, 65巻, 8号, pp. 1252-1256, 20141001
- Cathode sheath thickness of a microhollow cathode discharge plasma in argon high gas pressures, Engineering Journal 17, pp. pp1-6, 2013
- Dependence of supersonic nozzle shapes on plasma plugging effect in an arcjet, CD-ROM巻, C11号, pp. 4 pages, 201312
- Development of versatile molecular beam mass spectrometer for atmospheric pressure plasmas in He+H2O mixtures, CD-ROM巻, C23号, pp. 4 pages, 201312
- Investigation of shock cell formed in an arcjet helium plasma by a double probe measurement, CD-ROM巻, D43号, pp. 4 pages, 201312
- Mass Spectrometry Study of Reactive Species in a Microhollow Cathode Discharge in He+H2O Mixtures, Engineering Journal 17, pp. pp.29-34, 2013
- Measurement of electric field in a helium micro hollow cathode discharge plasma by forbidden transition, CD-ROM巻, D51 号, pp. 4 pages, 201312
- Measurements of localized electrostatic potential profiles in He discharge plasmas by LIF polarization spectroscopy, CD-ROM巻, C14号, pp. 4 pages, 201312
- Spectroscopic observation of He arcjet plasma expanding through a converging and diverging slit nozzle, Engineering Journal 17, pp. pp7-12, 2013
- Spectroscopic observation of He arcjet plasma expanding through a converging and diverging slit nozzle, CD-ROM巻, D34号, pp. 4 pages, 20131231
- アークジェットプラズマ中に発生する衝撃波の電子温度・密度計測, 電気学会研究会資料, PST-13号, 20130929
- 質料分析法によるHe+H2O系マイクロホローカソード放電における活性種の生成機構に関する研究, 電気学会研究会資料, PST-13号, 20130929
- Spatially Resolved Absorption Spectroscopy on a Microhollow Cathode Helium Plasma Using a Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, Plasma Fusion Res., 10巻, pp. 3406063, 20150530
- アルゴンカスケードアークプラズマ源の開発とその特性評価, 電気学会研究会資料, PST-14号, 20140531
- 水素原子バルマー線のシュタルクスペクトル解析による
マイクロホローカソード内部の電場測定
, 電気学会研究会資料, PST-15号, 20140531
- 高ガス圧力下におけるアークジェットプラズマの静電プローブ計測
, 電気学会研究会資料, PST- 15号, pp. 31-34, 20150811
- Pump-probe experiment for temporal profile measurement of plasma x-ray laser, Proc. in Phys., 169巻, pp. 95-102, 20150627
- Attosecond dynamics of parametric amplification at 11 nm, Proc. in Phys., 169巻, pp. 173-178, 20150627
- Construction of a magnetic bottle spectrometer and its application to pulse duration measurement of X-ray laser using a pump-probe method, AIP ADVANCES, 5巻, 11号, pp. 117101, 201511
- Reinjection of transmitted laser light into laser-produced plasma for efficient laser ignition, APPLIED OPTICS, 55巻, 5号, pp. 1132-1137, 20160210
- Avalanche of stimulated forward scattering in high harmonic generation, OPTICS EXPRESS, 24巻, 8号, pp. 8028-8044, 20160418
- DEVELOPMENT OF A CASCADE ARC DISCHARGE SOURCE FOR AN ATMOSPHERE-VACUUM INTERFACE DEVICE, Review of Scientific Instruments, 87巻, pp. 083503, 20160810
- 高ガス圧力下におけるアークジェットプラズマの静電プローブ計測, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-15巻, 20150810
- 真空インターフェースのための小型カスケードアークプラズマ源の開発, 電気学会プラズマ研究会資料集, PST-16巻, pp. 62, 20160809
- Spatially Resolved Absorption Spectroscopy on a Microhollow Cathode Helium Plasma Using a Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, Plasma Fusion Res., 10巻, pp. 3406063-3406063, 20151010
- Core-level attosecond transient absorption spectroscopy of laser-dressed solid films of Si and Zr, Phys. Rev. B, 94巻, pp. 165125-165125, 20160810
- Development of a cascade arc discharge source for an atmosphere-vacuum interface device, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 87巻, 8号, 201608
- Physics book: CRYRING@ESR, EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-SPECIAL TOPICS, 225巻, 5号, pp. 797-882, 201609
- Core-level attosecond transient absorption spectroscopy of laser-dressed solid films of Si and Zr, PHYSICAL REVIEW B, 94巻, 16号, 20161012
- Measurement of Ion Mach Number of Arcjet Plasmas by a Directional Langmuir Probe Under High-Gas Pressure, IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 45巻, 3号, pp. 485-488, 201703
- Numerical Study of Spectral Line Shapes in High-Density He Plasmas, Plasma Fusion Research, 11巻, pp. 2401124, 20160510
- An experimental study on the ignition ability of a laser-induced gaseous breakdown, Combustion and Flame, 178巻, pp. 1-6, 20170118
- Numerical Study of Spectral Line Shapes in High-Density He Plasmas, PLASMA AND FUSION RESEARCH, 11巻, 2016
- Laser absorption spectroscopy for measurement of He metastable atoms of a microhollow cathode plasma, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 57巻, 201801
- Comparative study of laser ignition and spark-plug ignition in high-speed flows, COMBUSTION AND FLAME, 191巻, pp. 408-416, 201805
- Characteristics of an under-expanded supersonic flow in arcjet plasmas, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 57巻, 6号, 201806
- Attosecond sublevel beating and nonlinear dressing on the 3d-to-5p and 3p-to-5s core-transitions at 91.3 eV and 210.4 eV in krypton, OPTICS EXPRESS, 25巻, 25号, pp. 31774-31788, 20171211
- An experimental study on the ignition ability of a laser-induced gaseous breakdown, Combustion and Flame, 178巻, pp. 1, 20170118
- Investigation of a large diameter He cascade arc plasma by vacuum-UV and visible emission spectroscopy, IEEE Trans. Plasma Sci., 46巻, pp. 2626-2629, 20180401
- Generation of a Large Diameter He Cascade Arc Plasma for a Plasma Window Application, IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 46巻, 7号, pp. 2626-2629, 201807
- Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets, OPTICS LETTERS, 43巻, 15号, pp. 3750-3753, 20180801
- Spectral dynamics of soft X-ray emission in dual-laser-produced medium-Z plasma, APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS, 124巻, 10号, 201810
招待講演、口頭・ポスター発表等
- カスケードアーク放電を用いた定常高密度アルゴンプラズマの発生とその分光計測, 難波愼一,上田恵,岩本勇樹,松岡雷士,田村直樹, 日本物理学会年会, 2017年03月20日, 通常, 日本語, 阪大
- ガス雰囲気中でのレーザープラズマX線の高輝度化, 難波 愼一,小田切誠,角中昇,岸本牧, レーザー学会年会, 2017年01月15日, 通常, 日本語, 徳島大学
- Effects of Equation of State on fluid simulations for laser-produced plasmas, 2016年05月22日, 通常, 英語
- Coherent plasma x-ray laser by injection of a parametrically amplified high-order harmonic light, 2016年05月22日, 通常, 英語
- Numerical Calculation of Gain Coefficients of Recombination X-Ray Laser in a Cluster Plasma, 2016年05月22日, 通常, 英語, Nara, Japan
- 大気圧・真空インターフェースのためのカスケードアーク源の開発とその特性評価, 難波愼一,M. H. AIMAN,松岡雷士,遠藤琢磨,鈴木千尋,田村直樹, 日本物理学会年次大会, 2016年03月20日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 仙台市東北学院大学
- 原子分子過程を考慮したレーザーアブレーションプラズマの流体シミュレーション, 池田千穂,砂原淳,難波愼一, 日本物理学会年次大会, 2016年03月20日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 仙台市東北学院大
- 軟X線高次高調波のX線パラメトリック増幅, 難波愼一,J. Seres, E. Seres, 長谷川登,岸本牧,錦野将元, レーザー学会学術講演会第36回年次大会, 2016年01月10日, 招待, 日本語, レーザー学会, 名古屋市名城大学
- Measurement of pulse width of a soft x-ray laser by pump-probe method, S. Namba, N. Hasegawa, M. Kishimoto, M. Nishikino and T. Kawachi, 日本原子力研究開発機構 光量子シンポジウム, 2015年11月13日, 通常, 日本語, 日本原子力研究開発機構, 京都府木津川市, ポンププローブ実験の結果の報告
- Temporal characterization of laser-plasma xuv pulses by a pump-probe laser spectroscopy, S. Namba, N. Hasegawa, M. Kishimoto, M. Ishino, M. Nishikino, 16th Symposium on Advanced Photon Research, 2015年10月15日, 招待, 英語, 日本原子力研究開発機構, 京都府木津川市
- Pump-Probe Spectroscopy for Temporal Characterization of Laser-Plasma XUV Pulses, S. Namba, N. Hasegawa, M. Kishimoto, M. Nishikino and T. Kawachi, European Physcal Society on Plasma Diagnostics, 2015年04月17日, 招待, 英語, EPS, Italy, Frascati, ポンププローブ実験の結果の報告
- プラズマ軟X線レーザーにより光電離されたXe原子の電子エネルギー計測, 難波愼一, 長谷川登,岸本牧,錦野将元, 日本物理学会年会, 2015年03月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 東京 早稲田大, ポンププローブ実験の結果の報告
- 可視スペクトル計測によるレーザー生成鉄プラズマの電子温度密度評価, 池田千穂, 松岡雷士,難波愼一, 日本物理学会年会, 2015年03月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 東京 早稲田大, レーザー生成鉄プラズマの分光計測結果の報告
- Electric probe measurement of plasma parameters in an expanding arcjet He plasma, W. Sasano, K. Kozue, L. Matsuok, T. Endo, N. Tamura and S. Namba, JCREN 2014, 2014年12月22日, 通常, 英語, JCREN organizing committee, Mahidol University
- Spatiotemporal distributions of plasma parameters on a laser ablation Fe plasma, C. Ikeda, Leo Matsuoka and Shinichi Namba, JCREN 2014, 2014年12月22日, 通常, 英語, JCREN organizing committee, Mahidol University
- カスケードアーク放電による高温高密度プラズマ源の開発, 難波愼一, Shuhei Fujino, Kazuki Kozue, Leo Matsuoka, Takuma Endo and Naoki Tamura, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, プラズマウィンドウ装置の開発結果の報告
- アークジェット膨張部に形成されるプラズマ発光の明暗構造の観測, 梢和樹, Ginga Kumagawa, Leo Matsuoka, Takuma Endo, Naoki Tamura, Shinichi Namba, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, アークジェットプラズマでの衝撃波計測の結果報告
- マイクロホローカソード大気圧ヘリウム放電の複数発光線同時高分解プラズマ計測, 蓮尾昌裕, Shinichi Namba, Keisuke Fujii, Taiichi Shikama and Hiromichi Azuma, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, ホローカソード放電のレーザー吸収分光の結果報告
- マイクロホローカソードヘリウムプラズマ中の不純物水素原子の分光計測, 松岡雷士, Daisuke Maki and Shinichi Namba, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, ホローカソード放電の電場計測結果の報告
- アルゴンアークジェットプラズマの速度分布計測のためのレーザー吸収分光システムの開発, 溝口亮, Leo Matsuoka and Shinichi Namba, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, アルゴンアークジェットプラズマにおける吸収分光計測の結果報告
- マイクロホローカソードプラズマの分光計測の高分解能化のための光線追跡シミュレーション, 中井瑞希, Leo Matsuoka and Shinichi Namba, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, 高分解スペクトル計測のための構成対線シミュレーションの結果報告
- Spectroscopic study of laser induced Fe plasma
for electron temperature and density measurements, C. Ikeda, Leo Matsuoka and Shinichi Namba, Plasma Conference2014, 2014年10月21日, 通常, 日本語, 日本物理学会, 新潟市, レーザー生成鉄プラズマの分光計測結果の報告
- Attosecond dynamics of parametric amplification at 11 nm, J. Seres, International Conference on X-ray Laser 2014, 2014年05月13日, 通常, 英語, コロラド大学, Colorad, Fort Collins, XPA実験の報告
- Pump-probe experiment for temporal profile measurement of plasma x-ray laser, S. Namba, N. Hasegawa, M. Kishimoto, M. Nishikino and T. Kawachi, International Conference on X-ray Laser 2014, 2014年05月12日, 通常, 英語, コロラド大学, Colorad, Fort Collins, ポンププローブ実験の結果の報告
- アルゴンカスケードアークプラズマ源の開発とその特性評価, S. Namba, S. Fujino, L. Matsuoka, 電気学会プラズマ研究会, 2014年05月09日, 通常, 日本語, 電気学会, 足利市, プラズマウィンドウ装置の開発結果の報告
- 水素原子バルマー線のシュタルクスペクトル解析による
マイクロホローカソード内部の電場測定, L. Matsuoka, Daisuke Maki, Kazuki Yanagiya, Shinichi Namba, 電気学会プラズマ研究会, 2014年05月09日, 通常, 日本語, 電気学会, 足利市, ホローカソード放電の電場計測結果の報告
- X線パラメトリック増幅を用いたプラズマX線レーザー, 難波愼一, J. Seres,E. Seres ,C. Serrat, 長谷川登,岸本牧,錦野将元, 光・量子ビーム科学合同シンポジウム2017, 2017年05月09日, 招待, 日本語, 大阪大学吹田キャンパス
- 明暗構造を有するアークジェットプラズマにおけるマッハプローブ計測, 佐々野航, 四竈泰一,松岡雷士,難波愼一,田村直樹, プラズマ科学における分光計測の高度化と原子分子過程研究の新展開, 2016年12月20日, 通常, 日本語, 難波愼一, 岐阜県土岐市
外部資金
競争的資金等の採択状況
- 機械工業振興補助事業, 電子ビーム溶接のためのプラズマウィンドウ技術開発補助事業, 2016年04月01日, 2016年03月31日
- 村田学術振興財団 研究助成金, Plasma windowを用いた革新的真空インターフェースの開発と先端プロセス技術への展開, 2017年, 2018年