YU JIAWENJIAWEN YU

Last Updated :2026/04/03

所属・職名
大学院先進理工系科学研究科　特任助教
メールアドレス
yujiawenhiroshima-u.ac.jp
自己紹介
Temperature monitoring during semiconductor processing, machine learning

基本情報

学歴

  • 広島大学, 大学院先進理工系科学研究科, 2022年04月, 2025年03月
  • 広島大学, 大学院先進理工系科学研究科, 2020年09月, 2022年03月

学位

  • 博士（工学）　(広島大学)
  • 修士（工学）　(広島大学)

研究分野

  • 工学 / 電気電子工学 / 電子デバイス・電子機器
  • 情報学 / 人間情報学 / 知能ロボティクス

研究キーワード

  • 半導体プロセス、温度測定、界面熱抵抗、機械学習

所属学会

  • 応用物理学会

研究活動

学術論文（★は代表的な論文）

  1. Ultra-low-temperature formation of high-quality SiO2 via interface-driven self-organization of polysilazane induced by atmospheric pressure plasma jet irradiation, AIP ADVANCES, 15巻, 10号, 20251001
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  2. Optimization of Baking Temperature for Minimization of Interfacial Thermal Resistance in Polymer/SiC Bilayer Structure Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), 2025 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC), pp. 231-232, 20250521
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  3. Investigation on the Relationship between Etching Rate and Photoresist Surface Temperature during Reactive Atmospheric-pressure Thermal Plasma Jet Irradiation, 2024 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM), pp. 1-3, 20250214
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  4. Ultra-fast etching of photoresist by reactive atmospheric-pressure thermal plasma jet with surface temperature measurement, Applied Physics Express, 18巻, pp. 016503, 20250117
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  5. Measurement of Temperature-Dependent Interfacial Thermal Resistance at polymer/SiC Interface Based on Optical-Interference Contactless Thermometry, Extended Abstracts of the 2024 International Conference on Solid State Devices and Materials, pp. D-8-02, 20240904
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  6. Extraction of interfacial thermal resistance across an organic/semiconductor interface using optical-interference contactless thermometry, Applied Physics Express, 17巻, pp. 036502, 20240306
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  7. Interfacial Thermal Resistance Measurement at Polymer/Semiconductor Interface Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), 2023 IEEE 4th China International Youth Conference On Electrical Engineering (CIYCEE), pp. 1-5, 20240129
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  8. Measurement of Heat Dissipation between SiC and Thermal Interface Material in Power Device Packaging Based on Optical-Interference Contactless Thermometry, Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials, pp. N-2-03, 20230906
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  9. Development of a real-time temperature measurement technique for SiC wafer during ultra-rapid thermal annealing based on optical-interference contactless thermometry (OICT), Japanese Journal of Applied Physics, 62巻, pp. SC1075, 20230220
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク
  10. Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Rapid Thermal Annealing Based on Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials, pp. J-5-04, 20220928
    DOIを用いた論文検索結果へのリンク

招待講演、口頭・ポスター発表等

  1. Study on the Performance Improvement of Optical-Interference Contactless Thermometry Based on Machine Learning, Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, 10th International Symposium on Control of Semiconductor Interface (ISCSI-X), 2025年11月10日, 通常, 英語, Tokyo, Japan
  2. Study on Real-Time Temperature Measurement Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT) Based on Machine Learning, Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, International Workshop on Nanodevice Technologies 2025 (IWNT2025), 2025年10月30日, 通常, 英語, Higashihiroshima, Japan
  3. 機械学習に基づく光学干渉非接触温度測定法（OICT）によるリアルタイム温度計測に関する研究, YU JIAWEN, 花房 宏明 、東 清一郎, 薄膜材料デバイス研究会　第22回研究集会, 2025年10月23日, 通常, 日本語, 龍谷大学　成就館
  4. 機械学習を用いた光学干渉非接触温度測定法の高性能化に関する研究, YU JIAWEN, 花房 宏明, 東 清一郎, 第86回応用物理学会秋季学術講演会, 2025年09月07日, 通常, 日本語, 名城大学　天白キャンパス
  5. 光学干渉非接触温度測定法への機械学習導入に関する研究, YU JIAWEN, 花房 宏明, 東 清一郎, 2025年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会, 2025年07月26日, 通常, 日本語, 岡山大学津島キャンパス
  6. Baking Temperature Optimization for Reducing Interfacial Thermal Resistance in Polymer/SiC Bilayer Structure Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, 2025 International Conference on Electronics Packaging joined with iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2025), 2025年04月15日, 通常, 英語, Nagano, Japan
  7. 光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたSiC ウェハの超急速熱処理時の 3D 温度分布のリアルタイム可視化, YU JIAWEN, 花房 宏明, 東 清一郎, 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月14日, 招待, 日本語, 応用物理学会, 東京理科大学 野田キャンパス
  8. Measurement of Temperature-Dependent Interfacial Thermal Resistance at polymer/SiC Interface Based on Optical-Interference Contactless Thermometry, Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, 2024 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2024), 2024年09月01日, 通常, 英語, Yokohama, Japan
  9. Interfacial Thermal Resistance Measurement at Polymer/Semiconductor Interface Using Optical- Interference Contactless Thermometry (OICT), Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, Seiichirou Higashi, The 2nd China International Youth Conference On Electrical Engineering (CIYCEE 2021), 2023年12月15日, 通常, 英語, Chengdu, China
  10. MEASUREMENT OF TRANSIENT HEAT TRANSFER ACROSS ORGANIC/SEMICONDUCTOR INTERFACE USING OPTICAL-INTERFERENCE CONTACTLESS THERMOMETRY (OICT), Jiawen Yu, R. GOTO, H. HANAFUSA and S. HIGASHI, 33rd International Symposium on Transport Phenomena (ISTP-33), 2023年09月24日, 通常, 英語, Kumamoto, Japan
  11. Measurement of Heat Dissipation between SiC and Thermal Interface Material in Power Device Packaging Based on Optical-Interference Contactless Thermometry, Jiawen Yu, Ryunosuke Goto, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2023), 2023年09月05日, 通常, 英語, Nagoya, Japan
  12. Extraction of Organic/Semiconductor Interfacial Thermal Resisitance based on Optical Interference Contactless Thermometry (OICT), Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and Seiichiro Higashi, 2023 Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices (AWAD2023), 2023年07月10日, 通常, 英語, Tokyo, Japan
  13. Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Rapid Thermal Annealing Based on Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), Jiawen Yu, Kotaro Matsuguchi , Takuma Sato , Hiroaki Hanafusa and Seiichiro Higashi, 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022), 2022年09月26日, 通常, 英語, Chiba, Japan
  14. Research on Real-Time Temperature Measurement For SiC Wafer During Ultra-Rapid Thermal Annealing Based On Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT), Jiawen Yu, Keiya Fujimoto, Kotaro Matsuguchi, Takuma Sato, Hiroaki Hanafusa and Seiichiro Higashi, International Workshop on Nanodevice Technologies 2022 (IWNT2022), 2022年03月11日, 通常, 英語, Higashihiroshima, Japan